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商品訊息描述

  • 《半導體製程設備技術》

    半導體(Semiconductor)是介於導體(Conductor)與絕緣體(Insulator)之間的材料。我們可以輕易的藉由摻質(Dopant)的摻雜(Doping)去提高導電度(Conductivity)。其中二六族及三五族是為化合物半導體(Compound Semiconductor)材料,大部分是應用於光電領域,如發光二極體(Light Emitting Diode , LED)、太陽能電池(Solar cell)等。而目前的積體電路(Integrated Circuit, IC)領域,還是主要以第四族的矽(Si)為主的元素半導體,也就是目前的矽晶圓(Silicon Wafer)基底材料(Substrate) 。

    在未來日子,我們可預見晶圓廠裡將有可能全面改為自動化的運作,到那時將不再需要大量的操作人員。而主要的人力將會是工程師(含)以上的職務,所以希望能以此書與各位以及想轉職的朋友們提供一個分享,讓大家都能對於常見的機台設備及其製程技術,都能有一個全觀的認識,以提升職場的競爭力。

    • 作者介紹

      楊子明

      交通大學 半導體材料與製程設備學程 工學碩士

      鍾昌貴

      台北科技大學 機電整合所碩士

      沈志彥

      中正大學 化工所 工學碩士

      李美儀

      交通大學 材料所 工學博士

      吳鴻佑

      交通大學 半導體材料與製程設備學程 工學碩士

      詹家瑋

      交通大學 半導體材料與製程設備學程 工學碩士

    下殺

    半導體製程設備技術-目錄導覽說明

    • 第○章 設備維修需具備的知識技能以及半導體導論篇
      0.1 設備維修該有的認知及態度
      0.2 設備安全標示的認識
      0.2.1 設備安全標示的認識
      0.2.2 個人防護裝備的認識
      0.3 設備機電系統的定義及分類
      類比控制系統
      數位控制系統
      0.4 設備控制系統
      0.5 常見電路圖圖示認識
      0.6 半導體導論
      參考資料

      第一章 擴散設備(Diffusion)篇
      1.1 爐管(Furnace)
      1.1.1 爐管設備系統架構
      1.1.2 爐管製程介紹
      1.1.3 製程程序步驟(Recipe)介紹
      1.1.4 經驗分享
      1.2 離子植入(Ion Implant)
      1.2.1 離子植入製程基礎原理
      1.2.2 離子植入機設備系統簡介
      1.2.3 離子植入製程在積體電路製程的簡介
      1.2.4 離子植入製程後的監控與量測
      1.2.5 離子植入機操作注意事項
      1.2.6 離子植入製程問題討論與分析
      參考文獻 101

      第二章 濕式蝕刻與清潔設備(wet bench)篇
      2.1 濕式清洗與蝕刻的目的及方法
      2.1.1 濕式清洗的目的
      2.1.2 濕式蝕刻的目的
      2.1.3 污染物對半導體元件電性的影響
      2.2 晶圓表面清潔與蝕刻技術
      2.2.1 晶圓表面有機汙染(organic contamination)洗淨
      2.2.2 晶圓表面原生氧化層的移除
      2.2.3 晶圓表面洗淨清潔技術
      2.2.4 晶圓表面濕式蝕刻技術
      2.3 化學品供應系統
      2.3.1 化學品分類
      2.3.2 化學品供應系統
      2.4 wet bench結構與循環系統
      2.4.1 濕式蝕刻及清潔設備(wet bench)結構
      2.4.2 濕式蝕刻及清洗設備(wet bench)傳動系統
      2.4.3 循環系統與乾燥系統
      參考文獻

      第三章 薄膜設備(Thin Films)篇
      3.1 電漿(Plasma)
      3.1.1 電漿產生的原理
      3.1.2 射頻電漿電源(RF Generator)的功率量測儀器
      3.2 化學氣相沉積設備系統(Chemical Vapor Deposition, CVD)
      3.2.0 簡介
      3.2.1 電漿輔助化學氣相沉積(PECVD)
      3.2.2 新穎化學氣相沉積系統與磊晶系統(ALD、MBE、MOCVD)
      3.3 物理氣相沉積設備系統(Physical Vapor Deposition, PVD)
      3.3.1 熱蒸鍍
      3.3.2 電子束蒸鍍
      3.3.3 濺鍍
      參考文獻

      第四章 乾式蝕刻設備(Dry Etcher)篇
      4.0 前言
      4.0.1 乾式蝕刻機(Dry Etcher)
      4.0.2 蝕刻腔體設計概念(Design Factors)
      4.1 各種乾式蝕刻腔體設備介紹
      4.1.1 反應式離子蝕刻機(Reactive Ion Etcher, RIE)
      4.1.2 三極式電容偶合蝕刻系統(Triode RIE)
      4.1.3 磁場增進式平行板電極(Magnetically Enhance RIE, MERIE)
      4.1.4 高密度電漿蝕刻腔體(High Density Plasma Reactors)
      4.1.5 多極式磁場侷限式電漿(Magnetic Multipole Confinement, MMC)
      4.1.6 電感應偶合電漿(Inductive Couple Plasma, ICP)
      4.1.7 電子迴旋共振式電漿(Electron Cyclotron Resonance, ECR)
      4.1.8 螺旋微波電漿源(Helicon Wave Plasma Source, HWP)
      4.2 晶圓固定與控溫設備
      4.3 終點偵測裝置(End point detectors)
      4.4 乾式蝕刻製程(Dry Etching Processes)
      4.4.1 乾式蝕刻與濕式蝕刻的比較
      4.4.2 乾式蝕刻機制
      4.4.3 活性離子蝕刻的微觀現象
      4.4.4 各式製程蝕刻說明
      4.5 總結
      參考文獻

      第五章 黃光微影設備(Photolithography)篇
      5.1 前言 256
      5.2 光阻塗佈及顯影系統(Track system : Coater / Developer)
      5.2.1 光阻塗佈系統(Coater)
      5.2.2 顯影系統(Developer)
      5.3 曝光系統(Exposure System)
      5.3.1 光學微影(Optical Lithography)
      5.3.2 光學曝光機世代演進
      5.3.3 電子束系統(E-beam system)
      5.4 現在與未來
      5.4.1 浸潤式曝光系統(Immersion Exposure System)
      5.4.2 極紫外光系統(Extreme Ultraviolet System)
      5.4.3 多電子束微影(Multi-Beam Lithography)
      5.5 工作安全提醒
      參考文獻

      第六章 研磨設備(Polishing)篇
      6.1 前言
      6.2 化學機械研磨系統(Chemical Mechanical Polishing, CMP)
      6.2.1 研磨頭
      6.2.2 研磨平臺
      6.2.3 研磨漿料控制系統
      6.2.4 清洗 / 其他
      6.3 研磨漿料
      6.4 化學機械研磨製程中常見的現象
      6.5 化學機械研磨常用的化學品
      參考文獻

      第七章 IC製造概述篇
      7.1 互補式金氧半電晶體製造流程(CMOS Process Flow)
      前段製程(FEOL)
      後段製程(BEOL)
      7.2 CMOS閘極氧化層陷阱電荷介紹
      四種基本及重要的電荷
      高頻的電容對電壓特性曲線(C-V curve)
      參考文獻

      第八章 控制元件檢測及維修篇
      8.1 簡介
      8.2 維修工具的使用
      8.2.1 一般性維修工具組
      8.2.2 三用電表的使用
      8.2.3 示波器 (oscilloscope)的使用
      8.2.4 數位邏輯筆的使用
      8.3 設備機台常見的控制元件與儀表控制器
      8.3.1 電源供應器(Power Supply)
      8.3.2 溫度控制器(Temperature Controller)
      8.3.3 伺服與步進馬達(Servo and Stepping motor)
      8.3.4 質流控制器(Mass Flow Controller, MFC)
      8.3.5 電磁閥(Solenoid Valve)
      8.3.6 感測器(Sensor)
      8.3.7 可程式邏輯控制器(PLC)

    語言:中文繁體
    規格:無
    分級:普級
    開數:16開19*26cm
    頁數:412
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    出版地:台灣

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商品訊息特點

  • 作者:楊子明、鍾昌貴、沈志彥,李美儀、吳鴻佑、詹家瑋

    追蹤

  • 出版社:五南

    出版社追蹤

    功能說明

  • 出版日:2011/12/1
  • ISBN:9789571164748
  • 好康推推

  • 語言:中文繁體
  • 適讀年齡:全齡適讀

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(中央社台北24日電)法國國際廣播電台網站報導,中國大陸對菲律賓總統杜特蒂宣布黃岩島海域為生態保護禁漁區,並未做出激烈反應;但大陸「環球時報」指出,菲國此一作法暗藏間接宣示主權之意。

網路引述新加坡媒體分析指出,杜特蒂將頒布政令,把主權有爭議的黃岩島部分海域列為海洋保護區,禁止捕魚活動。一般認為,這是杜特蒂向中國大陸示好的一項舉措。大陸當局反應溫和而緩慢,則引發外界猜測。

大陸官方「環球時報」報導,1位不具名的大陸南海問題學者批評,杜特蒂此舉暗藏陷阱和玄機。

「菲律賓星報」21日報道,菲律賓國家安全顧問艾斯畢倫(Hermogenes Esperon Jr.)當天在秘魯利馬稱,這是菲國單方面的決定,不過因為大陸已禁止漁民在潟湖捕魚,「這很自然就達成協議了」。

1位不願透露姓名的大陸南海問題學者21日對環球時報記者表示,潟湖區生態脆弱,本來就不允許捕魚,一般只供漁船在颱風時避風做短暫停留使用,捕魚通常只在黃岩島外圍。

不過他認為,菲國的聲明有「1個暗藏的陷阱」,潟湖區是島嶼的內水,具備完全的主權意義,倘若菲國以有法律效力的行政命令來畫定潟湖區為禁漁區,其中潛在的含義是自己對該區域享有主權。他說:「中國不可能會支持,否秒殺商品則未來畫定領海基線時,就可能對自身的主權利益造成損失。」

英國「金融時報」21日引述澳洲「羅伊國際政策研究院」(Lowy Institute for International Policy)專家的分析稱,喜歡即興發揮的杜特蒂可能試圖找到一個「既維護菲律賓主權以保全自己顏面、又不得罪中國的政治解決辦法」,但這一單方面決定反而可能冒犯中國大陸及相關聲索方。1051124

(中央社記者江明晏台北22日電)復興航空決議退出台灣航空市場,讓旅行社措手不及。燦星旅目前至寒假春節前,受影響旅客約2100人,損失恐達新台幣5000萬元,會將相關損失向復興航空談判協商或求償。

復興航空今天停航,上午召開臨時董事會決議解散公司,退出台灣航空市場。

燦星旅副總經理廖肇陽表示,復興航空無預警停飛,旅遊業和消費者也是受害者。目前盡全力協助旅客轉團或轉班機,費用部分將保留單據,再將相關損失向復興航空談判協商,或是求償的動作。

他指出,雖然復興航空不是亞洲最大航空公司,但影響也相當大,而且因為事出突然,讓旅行社各界「措手不及」。

復興航空航線有日本、港澳、大陸、泰國等,燦星旅估計,目前至寒假春節前,出團加機票人數有2100人,預估營業額有3000萬元,包含退費手續費等損失,恐高達5000萬元。

雄獅旅行社今天受復興航空停飛影響的團體總數為6團139人,針對已報名並使用復興航空團客,將協助全額退費、轉團,並盡速安排旅客返國,損失概由雄獅吸收。?1051122

下面附上一則新聞讓大家了解時事

(中央社台北25日電)中國大陸對秦始皇陵的挖掘工作持續進行,專家還發現了大量陪葬坑,有的陪葬坑面積甚至達幾千平方公尺;此外,陵內也發現數千件動物遺骨及塑像,是目前發現動物種類最多的中國帝王陵。

央視報導,秦始皇陵博物院總工程師周鐵日前表示,在對秦始皇陵最新挖掘工作中,考古人員已基本瞭解陵區的大體結構。

周鐵表示,在秦始皇陵園內已發現大大小小的陪葬坑400餘座,在周邊又發現了幾十座小型墓葬和陪葬坑。在目前已發掘的陪葬坑裡,以陶製品為主。

秦始皇陵也出土種類豐富的動物,包括真實動物隨葬和以陶、銅模擬的動物。秦始皇帝陵博物院副研究員武麗娜認為,「這在一定程度上反映了秦人在日常生活中積累經驗,逐漸掌握了各類動物的習性,並學會了馴養與利用」。

據初步統計,秦始皇陵出土的各類動物以馬的數量最多,包括陶馬、銅馬、馬骨三大類。其次數量較多的是珍禽異獸及水禽,以及出土後大量尚待鑒定的動物骨骼。

武麗娜表示,經歷年考古發掘與研究,珍禽異獸坑曾出土鹿、麂類食草動物,及一些雜食動物;水禽坑中共計出土青銅禽46件,其中鶴6件、天鵝20件,其餘為鴻雁等禽類。

上焦村秦墓則出土有蚌貝飾件、羊骨、雞骨,陵北部分陪葬墓出土有珍珠;陵園外城北側一號大型陪葬坑出土10餘種禽、獸、魚鱉的殘骨等。

古代中國帝王的地下世界裡缺不了用於食用或娛樂的「動物園」。考古證實,秦代對動物的利用至少達到12種。

馬是一種戰略資源,因此占有特別地位;鹿、麂是野生動物,是體現狩獵行為的產品;魚鱉、雞羊屬於可食用動物;蚌貝等屬於裝飾品。天鵝、鶴等禽類動物較為罕見,在陵園7號坑展現的是人馴養禽類動物的場景,表現出人與禽類動物、自然環境和諧相處的畫面。1051125

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